静電容量式非接触変位計

 

静電容量式非接触変位計

NANOMETRIC SENSOR(ナノメトリックセンサー)

金属など物体の微小な変位や振動をプローブを接近させて非接触で静電容量の変位として測定。
高速応答とnm(10-9m)の高分解能が可能で高速回転中のハードディスクやスピンドルモータなどのランナウト測定に最適。

ナノメトリックセンサーの特長

  • 超高分解能1nmp-pで精密な非接触測定ができます。
  • 応答周波数が20kHzと広く最高500kHz(オプション)まで可能です。
  • 高感度、高精度、高リニアリティで正確なアナログ電圧を出力します。
  • 低温から高温までの環境(-30 ~+100℃)で測定ができます。
  • 温度ドリフトが少なく安定した測定が可能です。
  • 磁界や磁性体など金属の材質に影響されません。
  • 用途に応じた細径プローブを製作することができます。

静電容量式非接触変位計 MODEL 211

ノイズレベルを大幅に低減、超高分解能1nm、高速応答20kHz(オプション500kHz)。

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。

プローブ 613A-1 614A-1
外形 Φ16mm (L=91mm) Φ16mm (L=91mm)
測定電極 Φ1.2mm Φ1.8mm
測定範囲 100±25μm 200±50μm
出力電圧 ±10V ±10V
感度 400mV/μm 200mV/μm
確度 ±1%F.S ±1%F.S
分解能p-p 20kHz 3nm 8nm
2kHz 1nm(※) 3nm
200Hz 0.5nm 1nm(※)
ケーブル長 1.5m(トライアキシャル) 1.5m(トライアキシャル)
環境条件 5~50℃ 85%R.H以下
応答周波数 DC~20kHz(-3dB) 2kHz, 200Hz切替可能
出力抵抗 約200Ω
出力表示 アナログメータ
電源 AC100V±10%, 50/60Hz 約13W
外形 約90(w)x150(H)x282(L)mm

静電容量式非接触変位計 MODEL 212

温度ドリフトが少く、100℃までの高温環境で安定測定が可能。

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。

プローブ 高安定度型 (614A-1) 高安定度型 (514-1)
外形 Φ16mm Φ5mm(L=25mm)
測定電極 Φ1.8mm Φ1.8mm
測定範囲 100±50μm 100±50μm
出力電圧 ±10V ±10V
感度 200mV/μm 200mV/μm
確度 ±0.2%F.S(23±5℃) ±1%F.S(23±5℃)
分解能p-p 2kHz 15nm 15nm
200Hz 5nm 5nm
20Hz 1nm(※) 1nm(※)
ケーブル長 1.5m(トライアキシャル) 1.5m(トライアキシャル)
環境条件 23±5℃ 85%R.H以下 -30℃~100℃ 95%R.H以下
応答周波数 DC~2kHz(-3dB) 200Hz, 20Hz切替可能
出力抵抗 約200Ω
出力表示 アナログメータ
電源 AC100V±10%, 50/60Hz 約13W
外形 約90(w)x150(H)x282(L)mm

静電容量式非接触変位計 MODEL 212-3

高安定測定が可能で極細プローブを採用し多点測定(3CH)が可能。

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。

プローブ 514A 502-1
外形 Φ5mm(L=25mm) Φ5mm(L=113mm)
測定電極 Φ1.8mm 0.2x1mm
測定範囲 200±50μm 100±50μm
出力電圧 ±10V ±10V
感度 200mV/μm 200mV/μm
確度 ±1%F.S ±1%F.S
分解能p-p 2kHz 35nm 30nm
ケーブル長 1.5m
環境条件 -30~100℃
アンプ 3CH
応答周波数 DC~2kHz(-3dB)
出力抵抗 約200Ω
出力表示 アナログメータ
電源 AC100V±10%, 50/60Hz 約30W
外形 約210(w)x150(H)x230(L)mm
 
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