超精密テーブル・高精度XYテーブル

 
オリジナル・カストマイズ製品

超精密の高精度テーブル

他では製作困難な高精度精密テーブルを設計製作します。
貴社の要求仕様をお知らせください。専用テーブル/アクチュエータを製作いたします。

超精密テーブル AX 250G/350G

超精密テーブル AX 250G/350G

エアースライダー+リニアモータ
先端技術でニーズにお応えします。

AX250G/350Gは、主要部材にグラナイト(斑れい岩)を使用した高精度でコストパフォーマンスに優れたエアースライダーです。 また、スライダーの性能を最大限に引き出すためアクチュエーターにはリニアモータを採用。低速から高速までなめらかな動作を実現しました。

半導体やディスクの検査装置、微細加工の求められる短波長レーザ加工機など先端技術分野に最適です。

特長

  • 主要部材にグラナイト(斑れい岩)を使用。環境に影響されずに、高精度を維持します。
  • スライダー、駆動部ともに完全非接触(潤滑剤不要)のため、クリーンでメンテナンスフリー。
  • リニアモータは高推力のコイル可動タイプを採用。小型軽量で高加速度、高応答性が実現できます。
  • レーザ測長器をはじめとする高精度測定器により、テーブルの性能を総合的に評価いたします。

仕様(AX250G)

ストローク 250mm
最高速度 250mm/sec
速度変動率 ±1%
分解能 0.1μm ※1
絶対位置決め精度 5μm ※1,2
真直度 2μm ※2
ヨーイング 2秒 ※2
ピッチング 2秒 ※2
テーブル全高 121mm
上面テーブル寸法 280×200mm
  • ※1 リニアスケール(テープタイプ)によるクローズドループ制御での値です。
    リニアスケールの選定により分解能0.001μm以下の制御も可能です。
  • ※2 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。
    また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。

外観図(AX250G)

超精密テーブル AX 250G 外観図

超精密XYテーブル AX 350

超精密XYテーブル AX 350

エアースライダー+リニアモータ
先端技術でニーズにお応えします。

超精密XYテーブルAX350は、300mmウェハーの検査装置をはじめ、高精度な位置決めを必要とするシステムのために開発されたテーブルです。
メンテナンス性に優れたエアーパッド方式のスライダーと速度変動の極めて少ないリニアモーターの組み合せで、高精度テーブルの新しい形を提案します。

特長

  • 主要部品にグラナイトと低膨張合金を使用。経時変化の少ないシステム構成になっています。
  • スライダーにはエアーパッド方式を採用し、「絞り」が詰まった時などのメンテナンス性に優れています。
  • マグネット可動のリニアモーターは、ケーブルの移動による発塵がありません。
  • レーザ測長器をはじめとする高精度測定器により、テーブルの性能を総合的に評価いたします。

仕様

ストローク 350×350mm
最高速度 100mm/sec ※1
速度変動率 ±1%(6mm/sec~100mm/sec)
分解能 0.01μm ※1,2
絶対位置決め精度 2μm ※2,3
真直度 0.5μm ※3
ヨーイング 0.5秒 ※3
ピッチング 0.5秒 ※3
石定盤外形寸法 1,000×1,000×200mm
テーブル全高 215mm(定盤上面より)
上面テーブル寸法 350×350mm
  • ※1 最高速度は分解能やリニアスケールの応答速度、使用するコントローラの性能などによって決まります。
  • ※2 高分解能リニアスケール(ハイデンハイン LIP401R、ソニー BS77等)によるクローズドループ制御での値です。
  • ※3 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。

外観図

超精密XYテーブル AX 350 外観図
 
Copyright© CORETECH Co.,LTD. All rights reserved.